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本发明提供一种非晶相化改质机及单晶材料的加工方法。所述单晶材料的加工方法包括以下步骤。提供单晶材料作为待改质对象。使用非晶相化改质机射出的飞秒激光束来对待改质对象内部进行加工。所述加工包括，使用飞秒激光束在待改质对象内部形成多条加工线，其中...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。

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