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提供安全且低成本、容易地制作多区域的加热器层(加热器线)的电极的技术。等离子处理装置具备：处理室，其配置于真空容器内部，在内侧配置处理对象的晶片并形成等离子；样品台，其配置于该处理室内，在其上表面载置所述晶片，且具有圆筒形；第1加热器层，其...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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