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本公开实施例提供了一种半导体结构及其制备方法，其中，半导体结构的制备方法，包括：提供第一介质层和第二介质层，所述第一介质层中形成有至少一个第一开口，所述第二介质层填充所述第一开口并覆盖所述第一介质层的表面；提供酸性抛光组合物，所述酸性抛光组...
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