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一种在用于评估工具的带电粒子设备中使用的检测器组件用于检测由样品响应于带电粒子束而发射的信号粒子，检测器组件包括：被配置为在与高于第一能量阈值的信号粒子相互作用时生成光子的闪烁体元件；被配置为检测低于第二能量阈值的信号粒子的基于电荷的元件，...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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