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本发明实施例提供了一种半导体清洗药液管道结构和半导体工艺设备，包括：清洗药液循环管路在进行半导体清洗工艺时，循环给排清洗药液；排水管路，与所述清洗药液循环管路的出口连接；排液管路，与所述清洗药液循环管路的出口连接；排放检测组件，设置于所述清...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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