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本公开涉及一种基板翘曲度测量系统、承载组件与平衡控制方法，承载组件包括水平检测机构、出风机构及控制器。出风机构设有风压可调的多个出风部，多个出风部分别对着基板底面的多个不同位置。控制器用于根据水平检测机构检测出的水平度信息，调整出风机构的各...
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