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激光加工装置及激光加工方法制造方法及图纸
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文档序号:40537819
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一实施方式的激光加工装置具备:激光光源;载台;fθ透镜;检流扫描仪,其通过使电介质镜动作并调整激光相对于fθ透镜的入射角,而在加工对象物的加工面上扫描激光;偏光分束器,其在激光的光路上配置于激光光源与检流扫描仪之间;1/4波长板,其在光路上...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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