温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种增强型氮化镓高电子迁移率晶体管器件。该器件包括:衬底;第一缓冲层,第一缓冲层位于衬底之上,第一缓冲层为受主能级掺杂的Ⅲ‑Ⅴ族半导体层;第二缓冲层,第二缓冲层位于第一缓冲层远离衬底的表面,第二缓冲层为受主能级掺杂的Ⅲ‑Ⅴ族半导...该专利属于英诺赛科(珠海)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英诺赛科(珠海)科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种增强型氮化镓高电子迁移率晶体管器件。该器件包括:衬底;第一缓冲层,第一缓冲层位于衬底之上,第一缓冲层为受主能级掺杂的Ⅲ‑Ⅴ族半导体层;第二缓冲层,第二缓冲层位于第一缓冲层远离衬底的表面,第二缓冲层为受主能级掺杂的Ⅲ‑Ⅴ族半导...