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在利用了圆偏振波的等离子处理装置中，为了能减少反射波的影响从而将圆偏振波效率良好地利用在等离子处理中，等离子处理装置具备：产生微波的微波源；使用通过该微波而产生的等离子来对设置于内部的被处理物进行处理的等离子处理室；和具备与微波源连接的矩形...
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