下载体声波滤波装置及其形成方法的技术资料

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一种体声波滤波装置及其形成方法、体声波滤波装置,谐振装置包括:压电层,包括第一区和第二区;位于压电层第一侧的第一电极结构和第二电极结构,第二电极结构的厚度大于所述第一电极结构的厚度;位于压电层第二侧的第三电极结构和第四电极结构;第一电极结构...
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