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本技术提供了一种气体加热装置及物理气相沉积设备，所述物理气相沉积设备包括腔室、管路及气体加热装置，所述管路与所述腔室连通，所述气体加热装置用于对所述管路中的气体间断加热，以使得所述管路向所述腔室中通入冷热交替的气体。本技术的技术方案能够明显...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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