下载一种硼掺杂选择性发射极及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:40520979

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本发明公开了一种硼掺杂选择性发射极及其制备方法和应用,在硅基体的正面沉积硼源,依次形成硼掺杂层、富硼层和硼硅玻璃层,获得第一中间体,在第一中间体的预印刷电极区域形成掩膜,去除无掩膜保护区域的硼硅玻璃层后再去除掩膜,获得第二中间体,将第二中间...
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