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本申请提供一种半导体元件结构及其制备方法。该半导体元件结构包括一基底、一字元线、一通道层及一位元线。该字元线设置于该基底上。该通道层被字元线所围绕。该位元线设置于该通道层上。该通道层具有在该基底中的一第一部分和在该基底上方的一第二部分。该第...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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