下载一种基于氧化镓/氧化铁异质结的日盲探测器及制备方法的技术资料

文档序号:40513390

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本发明属于日盲紫外探测技术领域,具体涉及一种基于氧化镓/氧化铁异质结的日盲探测器及制备方法,包括:所述蓝宝石衬底处于整个器件的最下层,所述氧化镓薄膜的下表面位于蓝宝石衬底上方,所述氧化铁薄膜的下表面与氧化镓薄膜的上表面接触,所述氧化镓薄膜和...
该专利属于北京镓和半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京镓和半导体有限公司授权不得商用。

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