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一种微流控芯片微电极工艺制造技术
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下载一种微流控芯片微电极工艺的技术资料
文档序号:40508322
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本发明公开了一种微流控芯片微电极工艺,涉及微流控芯片技术领域。本发明包括如下步骤:设计电极流道,在微流控芯片基片上加工电极流道与两个电极孔,并将微流控芯片基片与盖片键合,将微流控芯片和伍德合金棒分别预加热,然后通过灌注装置将加热后的伍德合金...
该专利属于苏州恒芯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州恒芯微电子有限公司授权不得商用。
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