下载一种多芯片互联实现方法的技术资料

文档序号:40507391

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本发明公开了一种多芯片互联实现方法,包括以下步骤:S1:玻璃层安装在玻璃基板上并设置空腔;S2:在空腔内设置多个导体柱;S3:将芯片设置在空腔中,在芯片顶面设置多个导体柱,使用有机介质层填充芯片掩埋空腔;S4:在玻璃层上生成上再分配层和上连...
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