温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基于波前传感技术的晶锭改质效果检测方法及装置。其中，该方法包括：采用目标激光对改质前的晶锭进行扫描，得到第一波前信息，其中，目标激光中包括目标波前；采用目标激光对改质后的晶锭进行扫描，得到第二波前信息；...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。