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包括背面配电网络结构的集成电路器件及其形成方法技术
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下载包括背面配电网络结构的集成电路器件及其形成方法的技术资料
文档序号:40501015
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提供了集成电路器件及其形成方法。该集成电路器件可以包括:晶体管,该晶体管包括沟道区和接触沟道区的源极/漏极区;电源轨,该电源轨被配置为电连接到电源并且在第一方向上与源极/漏极区间隔开;以及电源接触,该电源接触在源极/漏极区和电源轨之间并且接...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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