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本发明涉及一种滚刷式晶圆清洗装置，包括驱动部、滚刷和轴承座，滚刷包括刷轴和连接在刷轴上的刷体；滚刷的一端与驱动部连接，另一端通过刷轴与轴承座连接；滚刷在驱动部驱动下旋转；刷轴为两端面封闭的空心轴，空心部形成储液腔，用于储存清洗液；储液腔壁上...
该专利属于天津中科晶禾电子科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中科晶禾电子科技有限责任公司授权不得商用。

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