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本发明提供一种晶圆状态检测方法、装置、设备和介质，该方法包括：根据传感器经过晶圆过程中的触发信号，确定传感器的触发阈值；采集传感器慢速和快速经过放置有晶圆的不同晶圆槽时触发数据，计算速度影响因子；驱动传感器移动并扫描不同晶圆槽，记录晶圆槽的...
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