温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供了基于晶圆清洗设备的换液方法和系统，其包括分别获取第一药液、第二药液的独立换液开始时间和独立换液结束时间，设定所述第一药液的换液时长大于所述第二药液的换液时长；分析所述第一药液、所述第二药液的独立换液开始时间和独立换液结束时间是否...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。