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本发明了提供一种12英寸硅片碱腐蚀的方法，包括依次执行清洗机械手、超声波溢流清洗、轻碱腐蚀、热水漂洗、碱腐蚀、热水漂洗、SC2药液、漂洗、混酸药液、漂洗、溢流、慢拉、烘干的十三个工序步骤。本发明的方法强化了金属清洗，两个碱槽用螯合的方法，两...
该专利属于万华化学集团电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团电子材料有限公司授权不得商用。

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