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一种系统包括具有一个或更多个突起的支撑台、和压力装置。所述一个或更多个突起接触并且支撑所述衬底，使得所述衬底相对于所述支撑台是悬浮式的。当所述衬底由所述支撑台支撑时，所述衬底的下垂基于所述衬底的材料和/或尺寸。所述压力调整所述衬底的一侧上的...
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