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封装体的磁控溅射镀膜方法及封装体技术
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文档序号:40445320
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本发明公开了一种封装体的磁控溅射镀膜方法及封装体,其中,封装体的磁控溅射镀膜方法包括以下步骤:提供封装体,在所述非溅镀区靠近所述溅镀区的一侧边缘制备凹槽;在所述非溅镀区上设置遮挡层,其中,所述遮挡层靠近所述凹槽的一端朝向所述溅镀区延伸,所述...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。
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