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一种晶圆胶膜移除装置，包含用于承载一晶圆的一置料模组以及可沿一工作方向改变与置料模组距离的一撕胶膜组，一贴撕胶带经由该撕胶膜组的位移以贴附或分离于该晶圆表面，该贴撕胶带于该晶圆表面分离时一并移除设置该晶圆表面的一薄膜。...
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