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本技术公开了一种晶圆盒清洗机用轴承组件，包括固定机构、转动及连接料架结构，固定机构为轴承座，轴承座包括圆筒以及连接部；转动及连接料架机构包括轴承套、轴承、以及固定盖；轴承的上下两端与轴承套之间还设有轴封；固定盖与轴承套之间还设有密封圈；轴承...
该专利属于郑州合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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