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本发明提供了一种在衬底保持件的基部表面上使用的结构，其中：该结构是实质上平面的，该结构具有面向衬底保持件的表面，该面向衬底保持件的表面能够固定到衬底保持件的基部表面，并且还能够从衬底保持件的基部表面移除；以及该结构包括通过该结构的多个孔，多...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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