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本发明涉及半导体激光器领域，提供一种面发射激光器及其阵列，面发射激光器包括衬底，在衬底上依次制备有N型DBR层、有源层、电流限制层和P型DBR层，P型DBR层包括一个主腔P型DBR区和至少一个副腔P型DBR区，主腔P型DBR区、有源层与N型...
该专利属于吉光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉光半导体科技有限公司授权不得商用。

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