温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种激光束调节机构及激光辅助键合设备，涉及芯片制造的技术领域，其包括激光器、整形扩束组件、激光角度调节组件及光束聚焦组件；整形扩束组件的入射口与激光器的出射口对应设置，以接收激光器射出的激光束并对激光束进行光束整形及变焦扩束；激光...
该专利属于智慧星空（上海）工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过智慧星空（上海）工程技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。