下载一种半导体器件及其制作方法的技术资料

文档序号:40424279

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种半导体器件及其制作方法,涉及半导体技术领域,以解决现有技术中电容器金属配线之间的寄生电容大的问题。包括衬底;间隔形成在衬底的上方的至少两条导电配线;每条导电配线包括上配线段,同一上配线段的底端与顶端的面积不同;上介质层,上介质...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。