下载基板提升机构的技术资料

文档序号:40424042

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出的基板提升机构,包括主体支架,所述主体支架包括多个水平支杆,多个水平支杆相互平行且间隔布置,每个水平支杆包括两个侧壁;齿板,所述齿板的顶部设置有等间隔排布的多个插槽,用以保持多个基板;其中,每个水平支杆的至少一个侧壁安装有所述齿板...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。