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本发明提供了一种电镀搅拌装置及电镀设备,其中电镀搅拌装置包括电镀槽和搅拌组件,搅拌组件包括匀流板、夹持件、悬浮组件及旋转组件;悬浮组件包括运动悬浮磁力件及固定悬浮磁力件,运动悬浮磁力件设置于夹持件上,固定悬浮磁力件与运动悬浮磁力件相互配合以...该专利属于新阳硅密(上海)半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新阳硅密(上海)半导体技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种电镀搅拌装置及电镀设备,其中电镀搅拌装置包括电镀槽和搅拌组件,搅拌组件包括匀流板、夹持件、悬浮组件及旋转组件;悬浮组件包括运动悬浮磁力件及固定悬浮磁力件,运动悬浮磁力件设置于夹持件上,固定悬浮磁力件与运动悬浮磁力件相互配合以...