下载硬质衬底研磨的技术资料

文档序号:40419969

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本发明提供用于抛光例如具有大于约6的莫氏硬度的硬质材料的硬质材料的经改进浆液。示范性硬质表面包含蓝宝石、碳化硅、氮化硅及氮化镓及金刚石。在本发明的组合物及方法中,令人惊讶地发现包括添加剂的唯一组合的新颖组合物在浆液中均匀地分散具有广泛范围的...
该专利属于恩特格里斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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