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半导体结构及其形成方法技术
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文档序号:40416000
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本公开涉及一种半导体结构及其形成方法。所述半导体结构包括:衬底;堆叠结构,位于衬底上,堆叠结构包括沿第一方向间隔排布的存储区域、以及位于所述存储区域之间的隔离墙;存储区域包括沿第二方向间隔排布的存储单元,所述存储单元包括晶体管结构和电容结构...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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