温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了高速高精度搬运装置，涉及半导体制备设备技术领域，高速高精度搬运装置包括基体，顶侧设有机械臂组件，机械臂组件端部转动设有搬运组件，搬运组件包括上下设置的第一支撑板和第二支撑板，搬运组件包括转动轴，第一支撑板和第二支撑板之间设有缓冲...
该专利属于无锡星微科技有限公司杭州分公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡星微科技有限公司杭州分公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。