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存储器结构、半导体结构及其制备方法技术
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文档序号:40390841
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本申请涉及一种存储器结构、半导体结构及其制备方法。该半导体结构包括衬底;衬底内具有隔离结构,隔离结构在衬底内定义出有源区;有源区包括沟道区以及位于沟道区两相对侧的源极区和漏极区;栅极结构;栅极结构位于衬底的上表面,且覆盖沟道区;源极和漏极;...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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