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本技术提供一种密封门装置和半导体设备。所述密封门装置包括基板、第一止抵件、第一门体、驱动件、第二门体和传动组件，基板设有门孔和第一止抵件，第一止抵件位于门孔在第二方向上的一侧，第一门体在驱动件的驱动下可沿第二方向移动，第二门体设在第一门体和...
该专利属于浙江求是半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江求是半导体设备有限公司授权不得商用。

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