下载谐振器的技术资料

文档序号:40377911

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本发明提供一种谐振器,包括振动结构、第一电极及第二电极。振动结构包括振动区、凸出部、开口及框部。振动区具有相对的第一表面与第二表面,凸出部环绕振动区。开口设于振动区的一侧,且位于振动区与凸出部之间。开口具有靠近振动区的第一边与远离振动区的第...
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