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本发明总体涉及等离子体半导体处理以及相关的部件和工具。在示例中，聚焦环包括第一环形层和第二环形层。第二环形层的上表面构造成通过第一环形层的下表面接触该上表面来支撑第一环形层。下表面和上表面在周向上呈周期性结构，并且具有相同的周期长度。下表面...
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