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文档序号:40372421

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一种半导体装置,包括:设置在一主动区内的一晶体管。晶体管包括:一源极/漏极特征部件、一鳍部通道及一包围鳍部通道上的栅极结构。晶体管也包括:设置在主动边缘的绝缘区。主动边缘位于主动区的边界。绝缘区包括一沟槽。沟槽具有一渐细部。位于鳍部通道顶部...
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