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本发明公开了一种碳化硅晶体生长炉温场调节装置及方法，具体涉及碳化硅晶体生长技术领域，包括调节组件，所述调节组件包括转环、齿环、齿轮、两个导向杆、安装环、加热器、四个滑动座、伺服电机、四个螺纹杆、控制盒、透镜片、两个限位杆、温度传感器、清理刮...
该专利属于芜湖予秦半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖予秦半导体科技有限公司授权不得商用。

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