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本发明公开了一种半导体用运输装置，具体包括运输轨道、运输支架、驱动电机、驱动轮及半导体载具；运输支架两端的支撑侧板分别安装有限位轮组件，限位轮组件能于运输轨道上滚动，驱动动机安装于运输轨道的外环面的一侧，并与运输轨道位于同一水平面，且驱动轮...
该专利属于博联工业系统（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过博联工业系统（深圳）有限公司授权不得商用。

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