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本技术涉及电介质刻蚀机设备的领域，公开了一种气体分配器，包括分配板，所述分配板的顶面开设有分配腔，所述分配腔的内部底面开设有若干个分配孔，若干个所述分配孔的内部分别设有若干个导流块，所述导流块的外壁开设有若干个分流槽，所述导流块的底面开设有...
该专利属于嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司授权不得商用。

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