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本技术公开了一种用于晶圆激光切割设备中的清洗结构，包括固定支架，所述固定支架顶部安装有清洗桶，所述清洗桶内设置有固定晶圆的陶瓷吸盘，所述陶瓷吸盘底部固定连接有陶瓷吸盘底座，所述清洗桶底部固定连接有电机固定座，所述电机固定座底部固定连接有旋转...
该专利属于郑州轨道交通信息技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过郑州轨道交通信息技术研究院授权不得商用。

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