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本技术公开了一种利用压力差的孔蚀刻装置，包括箱体，箱体内壁连接分区板，箱体根据分区板分为蚀刻箱和储液箱，分区板的上壁放置产品，分区板对应产品开设通液孔，所述蚀刻箱和储液箱之间通过连通管和过溢管连通，连通管侧壁连接抽液泵，储液箱侧壁连通排气管...
该专利属于安徽四象半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽四象半导体材料科技有限公司授权不得商用。

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