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单模半导体激光器及其制作方法技术
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文档序号:40318386
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本发明公开了一种单模半导体激光器,包括:N面电极;衬底,形成在N面电极上;叠层结构,形成在衬底上,叠层结构自下而上依次包括缓冲层、N型限制层、N型波导层、有源区、P型波导层;P型限制层,形成在叠层结构上,P型限制层包括第一部分和从第一部分远...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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