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本发明公开了一种化学气相沉积炉的导流装置，包括阿基米德螺线导流锥和十字导流支架，所述阿基米德螺线导流锥包括锥本体和阿基米德螺线，所述阿基米德螺线分布在所述锥本体的锥面上形成导流槽，所述十字导流支架包括带孔底座和导流杆，所述阿基米德螺线导流锥...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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