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本申请提供了一种双腔的基座匹配装置和基座匹配方法。该基座匹配装置包括状态检测装置和控制器，每个基座的升降杆设置有状态检测装置，状态检测装置在外力驱动下带动升降杆升降，并且在基座的上升过程中检测基座是否到达隔离位置，在隔离位置，基座与腔体内的...
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