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非发光III族氮化物半导体层叠体的制造方法技术
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文档序号:40315323
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本公开涉及一种非发光III族氮化物半导体层叠体的制造方法,其包括如下步骤:准备含有硅(Si)的生长基板;在生长基板上形成多个突起;在生长基板上生长第一缓冲层,以覆盖多个突起;在第一缓冲层上形成多个生长阻挡膜;从通过生长阻挡膜暴露的第一缓冲层...
该专利属于威弗洛得有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威弗洛得有限公司授权不得商用。
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