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一种数字光刻系统包括扫描区域，所述扫描区域包括第一扫描区域及邻近第一扫描区域的第二扫描区域。数字光刻系统进一步包括在扫描区域上方定位的曝光单元、存储器、及可操作地耦接到存储器的至少一个处理器件。曝光单元包括与第一扫描区域相关联的第一曝光单元...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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